MIMENTO

Grâce à un ensemble d’équipements de haute technologie, cette centrale de l'institut FEMTO-ST permet aux équipes de recherche de concevoir et de réaliser des dispositifs basés sur les micro- ou nano-technologies.

Elle représente 1400 m² de salles blanches dont 865 m² de locaux de classe ISO 5 à 7

MIMENTO est composée de trois modules complémentaires : un module de recherche très fondamentale en nanotechnologie, un module de microfabrication salle blanche disposant de plusieurs filières complètes de réalisation de micro-dispositifs, en particulier sur des matériaux autres que silicium et un module mutualisé de R&D et d’Innovation industrielle (ligne pilote de fabrication de micro et nano-composants piézoélectriques réalisés collectivement et atelier pilote).

Elle est gérée par une équipe technique composée d’une quinzaine d’ingénieurs et de techniciens. Celle-ci a pour rôle de soutenir les projets de recherche réalisés au sein de la centrale (projets internes ou externes). Ses missions principales sont le développement de nouvelles technologies, la gestion d’un parc d’équipements de haute technologie (maintenance et évolution des équipements) et l’accompagnement des utilisateurs (formation et conseil sur les procédés de réalisation).

Pour assurer le développement technologique préalable au transfert vers l'industrie de ses travaux de recherche, FEMTO-ST s'appuie sur FEMTO ENGINEERING. Véritable prolongement de l'Institut, le centre de développements technologiques FEMTO ENGINEERING constitue une interface privilégiée pour les industriels ayant des besoins d'innovation.

Elle fait partie du réseau du Réseau national de grandes centrales technologiques pour la recherche technologique de base (RENATECH) dont le but est de soutenir l'ensemble de la recherche institutionnelle française.

Elle est dotée d'un parc d'équipement de Haute Technologie ouvert à la fois à des partenaires académiques et industriels. Elle a bénéficié de financements nationaux (Ministère, ANR, CNRS), et régionaux (DRIRE, Région, Conseil Général, CAGB).

Dans le cadre de l'ouverture des grandes centrales de technologies du réseau Renatech, l'institut FEMTO-ST, s'engage à réaliser au sein de sa centrale de technologie des projets portés par des laboratoires extérieurs ou par des PME et PMI lors de collaborations de recherche.

MIMENTO permet le :

• Dépôt de couches minces (pulvérisation, évaporation, PECVD)
• Photolithographie (optique, e-beam, stepper, pistes d'enduction automatique, spray coating, masqueur laser)
• Gravure ionique (DRIE et FIB)
• Gravure chimique
• Électroformage
• Micro-usinage par laser femto-seconde
• Micro-usinage par ultrasons
• Électro-érosion
• Micro-moulage par injection
• Découpe de précision
• Micro-assemblage
• Matriçage à chaud
• Caractérisation (profilométrie, ipsométrie, MEB, XPS, fluorescence X)