MIFHySTO

La plateforme MIFHySTO dispose d’équipements de pointe dans le domaine de la microfabrication mécanique et des traitements de surfaces ou dépôts par voies humide et sèche.

Commune à plusieurs laboratoires (Instituts FEMTO-ST, UTINAM et ICB), cette plateforme vise à développer, améliorer et hybrider des procédés de microfabrication mécanique pour la réalisation de composants ou de détails submillimétriques avec une précision micrométrique. Elle dispose de compétences sur la majeure partie des technologies employées à ces échelles (µEDM, µfraisage, décolletage, moulage par injection métallique/céramique, hot embossing, fabrication additive métal, traitement de surfaces par voie humide, réacteur NTC, …).

La plateforme MIFHySTO dispose également de moyens de métrologie des pièces et assemblages (nano-micro-tomographie X, microscopes 3D, MMT) ainsi que des matériaux (analyses DRX, MEB, AFM, …).

Compétences, savoir-faire et réalisations :

• Miniaturiser, comprendre et maîtriser les procédés de µfabrication mécanique (usinage / formage / réplication)
• Hybridation Salle blanche (technologies de la microélectronique) / salle grise / fabrication additive
• Texturation et fonctionnalisation de surfaces
• Caractérisation des géométries et surfaces
• Réalisation de composants fonctionnels 3D

Ces équipements sont partagés entre le département DMA de l'Institut FEMTO-ST, l'équipe sonochimie de l'institut UTINAM et l’équipe PDMD de l’ICB, à l'UTBM. Le département DMA est le pilote de la plateforme. Celle-ci est actuellement localisée à l’ENSMM pour le département DMA de l'institut FEMTO-ST et l’équipe sonochimie d’UTINAM, ainsi qu’à l’UTBM pour l’IRTES.